OTL-PECVD-1200PECVD sistemi, OTL1200 vakum boru fırın, kuvars vakum odası, radyo frekans güç kaynağı, GX gaz kaynağı sistemi, pompalama sistemi, vakum ölçüm sisteminden oluşur.

Ana Özellikler:

1. Radyo frekans güç kaynağı ile kuvans vakum odasındaki gazı iyon durumuna dönüştürmek.

PECVD, kimyasal gaz birikmesi için gereken sıcaklıktan normal CVD'ye göre daha düşük.

3. Radyo frekans güç kaynağının frekansı ile tahrip edilen filmin gerilim boyutunu kontrol edebilir.

PECVD, normal CVD'den daha yüksek bir kimyasal gaz tahrip hızı, iyi bir eşitlik, tutarlılık ve istikrardır.

5, yaygın olarak kullanılır: SiOx, SiNx, SiOxNy ve amorofob silikon (a-Si: H) gibi çeşitli ince filmlerin büyümesi.

OTL-PECVD-1200 PECVD sistemi İsveç Kanthal direnç telleri ısıtma bileşeni olarak, çift katmanlı kabuk yapısı ve 30 bölümlük programlı sıcaklık kontrolü cihazı, faz kaydırma tetikleme, kontrol edilebilir silikon kontrolü, fırın alüminyum oksit polikristal fiber malzemesi, fırın borusunun her iki ucu paslanmaz çelik flanş sızdırmazlık, paslanmaz çelik flanş üzerine organik hava ağız, valf ve basınç ölçeği kurulmuştur, vakum pompalarken vakum derecesi 10-3 Pa'ya ulaşabilir, sıcaklık alanı dengesi, düşük yüzey sıcaklığı, hızlı kaldırma sıcaklık hızı, enerji tasarrufu, ucuz fiyat ve diğer avantaj

(3), direnç dengesi, sıcaklık alanı dengesi iyi

Isıtma bileşenleri: İsveç Kanthal A1 ithal direnç telleri (direnç telleri 2 yıllık garanti sağlayabilir)

Devre aşırı akım veya sızıntı olduğunda, boş açılış otomatik olarak kesilir

Bu fırın iletişim arayüzü ve yazılımı ile donatılmıştır, doğrudan bilgisayar aracılığıyla fırının çeşitli parametrelerini kontrol edebilir ve bilgisayardan fırındaki PV ve SV sıcaklık değerlerini ve aletlerin çalışmasını gözlemleyebilir, fırının gerçek ısınma eğrisi bilgisayar gerçek zamanlı olarak çizilecek ve her anın sıcaklık verilerini kaydedebilir, vakum derecesini istediğiniz zaman ayarlayabilir.

(2) Japon teknolojisinin kullanılması.

(3) Odadaki direnç tellerinin boşluğu ve boşluğu, Japonya'nın en iyi termoteknolojisine göre düzenlenmiştir ve termoteknoloji yazılımı tarafından sıcaklık alanını simüle edilmiştir.

(4) 4 haftalık ısıtma, sıcaklık alanı daha dengeli

(Tüm UL sertifikalı ithal cihazlar)