Ultra yüksek çözünürlüklü alan fırlatma tarama elektron mikroskopu Regulus serisi
Mevcut SU8240, SU8230, SU8220 ve SU8010 modelleri Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 ve Regulus 8100 olarak yeniden birleştirildi.
'Regulus Serisi', SU8200 Serisi'nin düşük gürültülü soğuk alan atıcı elektronik tüfeği ile mevcut modellerin gözlem ve analitik performansını miras aldı*1Yüksek istikrarlı bir akış elde edilebilir.
Elektronik optik sistemleri optimize ederek, Regulus 8240/8230/8220, 1 kV koşullarında çözünürlüğünü 0,7 nm'ye, Regulus 8100 ise 0,8 nm'ye yükseltildi.
Ayrıca, süper yüksek çözünürlük yeteneğini tam olarak kullanmak için büyütme oranı geçmişteki 1 milyon katından 2 milyon katına yükseldi.*1- Hayır.
Regulus 8240/8230/8220/8100 ayrıca, çeşitli karmaşık sinyallerin algılanma prensiplerini anlamak ve aletlerin en iyi performansını elde etmek için kullanıcı desteği özelliğini de geliştirir.
- *1
- Sadece Regulus 8240/8230/8220
-
Özellikleri
-
Özellikler
Özellikleri
- 'SU8200 Serisi' Soğuk Alan Ateşleme Elektronik Silahı*2
- Elektron ışını, Flashing'den sonra ortaya çıkan yüksek parlaklıktaki istikrarlı bölgeyi istikrarlı gözlem aralığı olarak kullanarak, düşük hızlandırılmış gerilim koşullarında yüksek çözünürlüklü gözlem ve analiz için en iyi performansı sağlar
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Küçük kirlilik, yüksek vakumlu örnek deposu
- Enerji filtresi (isteğe bağlı) kullanılarak çeşitli bileşen kontrastları gözlemlenebilir*2
Son derece düşük iniş voltajında yüksek çözünürlüklü gözlem
Örnek: Altın parçacıklar
İniş gerilimi: 10 V
Yüksek çözünürlüklü gözlem
Örnek: Pt katalizörü
Hızlandırıcı gerilim: 30 kV
Düşük Hızlandırma Geriliminde Yüksek Çözünürlüklü EDX Analizi
Örnek: Sn topu
İniş gerilimi: 1.5 kV
- *2
- Sadece Regulus 8240/8230/8220
Özellikler
Projeler | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
İkinci Elektronik Çözünürlük | 0.7 nm (Hızlandırma gerilimi 15 kV) 0.8 nm (İniş voltajı 1 kV)*3 |
0,6 nm (Hızlandırıcı gerilim 15 kV) 0,7 nm (iniş gerilimi 1 kV)*3 |
|||||
İniş voltajı | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
Büyütme oranı | 20-1.000.000 kez*4 | 20-2.000.000 kez*4 | |||||
Örnek Masası | Örnek Masası Kontrolü | 3 eksenli motor (isteğe bağlı 5 eksenli motor) | 5 eksenli motor sürücüsü | ||||
Hareket Aralığı | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
Tekrarlanabilirlik | - | - | - | ±0.5 µm'den az ±0.5 µm içerir |
- *3
- Yavaşlama modunda gözlem
- *4
- 127 mm x 95 mm film üzerine ölçeklenme oranı
İlgili Ürün Kategorileri
- Odaklama İyon ışını sistemi (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM Örnek Ön İşleme Cihazı